EBL加工光刻掩膜版能接受L-edit什么格式的文件？有推荐的单位可以做掩膜版加工吗？
如题，想尽快交流出燃眉之急。
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祝 好 运 ！
EBL接受GDS II格式，但要注意每一层的定义（单层的不用考虑），在file中有一个export选项。
制版单位推荐研材微纳。也可以直接找他们做其它代工。关于工艺问题可以具体直接咨询。
谢谢推荐，我去联络一下
，
南京55所
制版问题可以咨询我，我的方式13961814622