纯度、尺寸、厂家。尺寸是为了匹配镀膜机里的溅射阴极；不同厂家的质量差别还是挺大的。

包括尺寸、纯度、晶体结构、厚度、有些还有晶向，我们实验室买的是中诺新材！

还要看靶怎样嘛

就这么些东西，纯度、致密度、尺寸这么些东东。

溅射的功率大小也会影响的，功率太大靶起弧严重，还有可能使靶裂开。
但是功率小了镀膜的速度就降低了。
同时还要看你靶的大小，功率都是有经验的，一般的都是那么多，