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磁控溅射靶材发黑

作者 FLYFWY
来源: 小木虫 800 16 举报帖子
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磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。

磁控溅射靶材发黑
Zr.png


磁控溅射靶材发黑-1
Al.png


磁控溅射靶材发黑-2
黄铜.png 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • peterflyer

    猜测有可能是发生了氧化所致。

  • cyg376116

    第一感觉也是氧化了,另外纯度怎么样?

  • shi2015

    应该是在真空环境下镀膜的啊,怎么会黑了呢,是不是内壁该清理了

  • caojingpie

    反应气体是什么

  • caojingpie

    感觉像氧化

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