磁控溅射靶材发黑
磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。
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磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。
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猜测有可能是发生了氧化所致。
第一感觉也是氧化了,另外纯度怎么样?
应该是在真空环境下镀膜的啊,怎么会黑了呢,是不是内壁该清理了
,
反应气体是什么
感觉像氧化