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请教在硅片上进行微加工工艺

作者 meilingra
来源: 小木虫 1000 20 举报帖子
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需要在硅片上进行超精细加工,最终效果需要实现在极小面积( 3X5mm)的硅片表面上能形成几万个孔径在5um,孔深在4um左右的小孔,最理想的图片如图中所示。我查阅了资料,发现国外有人对DVD光盘的生产工艺改进后实现了目的。请教各位大神,目前,有什么合适的工艺可以实现我的目的?如果有,能否推荐合适的厂家帮忙加工小试,多谢!

请教在硅片上进行微加工工艺
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  • 精华评论
  • 杨建军205

    您想要实现的其实是一个类似芯片的设计,甩胶,曝光,光刻,显影,刻蚀工艺。大致需要以下步骤:
    1.用软件(例如Ledit)设计好自己的图形。
    2.做一个掩膜版。在一块石英玻璃上镀上金属Cr薄膜,然后用电子束曝光法完成步骤一所述的图形。
    3.前处理(抛光,清洗,烘干等)您的硅片,并在硅片上甩光刻胶。
    4.用步骤2的掩膜版在紫外光下曝光,给光刻胶形成图形。
    5.用显影液(KOH)清洗光刻胶,漏出自己要的那些空洞位置。
    6.然后用离子刻蚀或者HF酸刻蚀的方法在硅片上刻蚀出您要的孔洞。
    7.清洗掉剩余的没有曝光的光刻胶,

  • meilingra

    您好,感谢您的回复!确实是一个类似芯片的设计,有否成熟的生产厂家推荐么?我们想找一种低成本的解决方案。

  • meilingra

    引用回帖:
    4楼: Originally posted by 小小小徐 at 2016-04-18 22:21:36
    一楼说的是现在普遍的工艺。便宜的也有,软光刻什么的,可是你这个材料和精度恐怕只能LIGA法来做了,不会便宜。我可以帮你打听一下价格和周期。
    ...

    多谢!

  • wenhaochip

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by meilingra at 2016-04-18 22:03:24
    您好,感谢您的回复!确实是一个类似芯片的设计,有否成熟的生产厂家推荐么?我们想找一种低成本的解决方案。

    欢迎咨询汶颢芯片科技,您可以网上搜一下,我们是专门从事微流控芯片设计、加工的,和很多科研院校有过合作,希望可以帮到你哦

  • dezhuli

    你好,这个做干法刻蚀 可以做的

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