请教在硅片上进行微加工工艺
需要在硅片上进行超精细加工,最终效果需要实现在极小面积( 3X5mm)的硅片表面上能形成几万个孔径在5um,孔深在4um左右的小孔,最理想的图片如图中所示。我查阅了资料,发现国外有人对DVD光盘的生产工艺改进后实现了目的。请教各位大神,目前,有什么合适的工艺可以实现我的目的?如果有,能否推荐合适的厂家帮忙加工小试,多谢!
微孔工艺6.jpg 返回小木虫查看更多
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需要在硅片上进行超精细加工,最终效果需要实现在极小面积( 3X5mm)的硅片表面上能形成几万个孔径在5um,孔深在4um左右的小孔,最理想的图片如图中所示。我查阅了资料,发现国外有人对DVD光盘的生产工艺改进后实现了目的。请教各位大神,目前,有什么合适的工艺可以实现我的目的?如果有,能否推荐合适的厂家帮忙加工小试,多谢!
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您想要实现的其实是一个类似芯片的设计,甩胶,曝光,光刻,显影,刻蚀工艺。大致需要以下步骤:
1.用软件(例如Ledit)设计好自己的图形。
2.做一个掩膜版。在一块石英玻璃上镀上金属Cr薄膜,然后用电子束曝光法完成步骤一所述的图形。
3.前处理(抛光,清洗,烘干等)您的硅片,并在硅片上甩光刻胶。
4.用步骤2的掩膜版在紫外光下曝光,给光刻胶形成图形。
5.用显影液(KOH)清洗光刻胶,漏出自己要的那些空洞位置。
6.然后用离子刻蚀或者HF酸刻蚀的方法在硅片上刻蚀出您要的孔洞。
7.清洗掉剩余的没有曝光的光刻胶,
您好,感谢您的回复!确实是一个类似芯片的设计,有否成熟的生产厂家推荐么?我们想找一种低成本的解决方案。
多谢!
欢迎咨询汶颢芯片科技,您可以网上搜一下,我们是专门从事微流控芯片设计、加工的,和很多科研院校有过合作,希望可以帮到你哦
你好,这个做干法刻蚀 可以做的