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请问：椭偏仪大概多少钱

作者 锋o希望: 来源: 小木虫 350 7 举报帖子

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小弟最近在使用磁控溅射镀膜机镀膜，但是无法测量膜厚，现在准备使用椭偏法测膜厚，不知一般的椭偏仪（如TP77）大概多少钱？
顺便问一下，大家在镀膜过程中都是如何控制膜厚的，或者怎么测膜厚的。
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精华评论

海天天意

椭圆偏振仪，上海有一家在生产，主要销往国外，我们是他最早的客户，可以帮你联系！
kissyliu

看你是溅射什么膜了，椭偏仪测膜厚的水分挺大的！给你个参考仪器http://www.tjgd.com/pro2.aspx?id=239 如果需要的话，我给你联系他们内部工程师，价格会很优惠的！
idiot891

十几万吧
我们最近也想买一台呢
uantel

引用回帖:
832053楼: Originally posted by 锋o希望 at 2011-08-01 17:13:52:
小弟最近在使用磁控溅射镀膜机镀膜，但是无法测量膜厚，现在准备使用椭偏法测膜厚，不知一般的椭偏仪（如TP77）大概多少钱？
顺便问一下，大家在镀膜过程中都是如何控制膜厚的，或者怎么测膜厚的。
...

可以到上海致东光电去测量，他们做光学测量18、9年的样子了，测的还不错，台湾测半导体起家的，我之前有和那里面的袁涛联系过，分机好像是205
，
mengyonghong

椭偏仪种类比较多（可参考量拓科技的网站www.ellitop.com）价格从几万元到接近百万元，
（1）大类分为：激光椭偏仪、光谱椭偏仪；
（2）针对在线测量的有：大面积在线椭偏仪、镀膜机专用在线椭偏仪
（3）针对教学用的有：教学椭偏仪（这种一般用于原理演示，无法进行科研中有精度要求的测量）。
ying7157

进口的椭偏仪要在四五十万，精度比较高些！
jssh985211

引用回帖:
5楼: Originally posted by uantel at 2012-03-27 14:26:03
可以到上海致东光电去测量，他们做光学测量18、9年的样子了，测的还不错，台湾测半导体起家的，我之前有和那里面的袁涛联系过，分机好像是205...

你好！请问你有没有椭偏仪负责人联系电话？我想咨询下我的样品能不能测。谢谢啦！