测试的过程中可以破坏这个试样么？如果可以的话，用酚醛树脂做成金相试样，然后再用砂纸磨，磨到直接位置，再用带刻度的光学显微镜拍照。观察钢球直径和表面膜层的厚度比，然后再用游标测出钢球的实际直径，利用比例尺就可以得到表面膜层的厚度。这种方法可测出微米级的膜厚，

XPS作sputter 实验。

扫描电镜观察测量，环氧树脂镶样，然后做剖面，解理出膜层然后测量。
如果是单质膜层，可以找EDXRF，用X射线测量膜厚。这个据说比较准确，一次能够测量多层膜厚，越是纳米尺度的层厚越越准确。

用轮廓仪（或者叫台阶仪）咯，垂直方向精度最高可达0.1 nm。