单晶薄膜是看不到颗粒。
外延膜不一定都是单晶，看衬底。

哪位大虫帮忙回答下呗，困扰中

外延膜可以是单晶，也可以多晶，甚至非晶（要长单晶材料长坏了就成非晶了，俗称长毛了）。
成长为什么结构视衬底材料和生长条件等因素而定了，如果说外延的都是单晶，那长单晶谁都会了，我要失业了。
单不单晶，SEM是测不出来的。对于纯的单晶薄膜，世界上是没有的，所以看一块材料的SEM，只是看它的表面形貌，有颗粒要视具体情况而分析，原子簇，聚团，金属滴都有可能，有时还是沾污呢，

只要理解好了epitaxy的基本概念就ok了。
它由两个拉丁词组成，epi是upon的意思，taxy是order的意思，因而在基片与薄膜的之间晶格如果存在取向关系，就为外延。(111)立方面与(0001)六方面在二维对称性是一致的，容易形成外延膜。如果膜形成多畴，也可能与基片与薄膜之间的匹配有关。
当然单晶显然是在固体物理上一个严格的概念了。如果薄膜为单畴，且取向非常完美，可以近视认为单晶。