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HiPIMS等离子体“稀薄效应”
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新铂科技
图片图1稀薄模型模拟出在靶刻蚀区域前面随着脉冲时间变化Ar气体密度变化过程图片图2OES探测不同电流密度下金属粒子与气体粒子变化过程
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的存在，使得气体...
learzheng
2022-07-02 03:13
