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材料综合 原子层沉积(ALD)样品沟槽的影响
请问原子层沉积样品如果是经过刻蚀,很多沟槽,会对工艺产生什么影响?...最近一家公司找我帮忙做原子层沉积的氮化物,在有沟槽的样品表面会遇到轻微色差,急需求助,请问是什么原因,谢谢。...
原子层沉积 2020-05-30 01:17