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分析 蓝宝石抛光液的配方设计原理
蓝宝石(Sapphire),主要成分是氧化铝(α-Al2O3)。...化学机械抛光(CMP)是机械削磨和化学腐蚀的组合技术,基本原理是将待抛光工件在一定的下压力及抛光液(由纳米颗粒、化学添加剂和液体...
HCCchem 2024-03-08 07:57