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求助大家，硝酸氧化、热氧化n型晶硅，硅的少子寿命不升反降，这
...
大家
好，本人目前研一，我用浓度为65％-68％的
硝酸氧化n型晶硅，
尝试过用110℃、115℃、120℃、130℃油浴
硝酸
加热n型晶硅10-30...但是以上温度氧化后测得的硅片
的少子寿命
反而均降低为2点多μ...
yilinW_19
2019-12-31 02:58
