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微米和纳米 【请教】AlGaN/GaN 光快速退火
大家好:我先把我遇到的问题说一下:这边用的退火炉是日本的...但这台仪器存在几个问题,一,由于这台仪器是靠红外光加热的,然后就存在热电偶与AlGaN/GaN片子吸光率不一样的情况,最终导致...
zjl-jac 2010-08-29 11:40