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微米和纳米 北大微纳加工平台PECVD做SiC薄膜
请问有没有人知道北大微纳加工平台可以对外做PECVD碳化硅薄膜吗,或者其他机构科研院所也可以展开合作
xinyuhualu22 2018-12-07 02:20